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인천대 융합과학기술원 아이나노팹 센터 문 열어

경인지역의 부족했던 반도체 관련 연구인프라 물꼬 터


인천대학교 융합과학기술원 소속 아이나노팹 센터(I-NanoFab Center)는 반도체 소자 및 공정 관련 연구환경 지원을 위해 28일 미추홀캠퍼스에서 성황리에 개소식을 진행했다.

아이나노팹 센터는 장비공동 활용, 연구 성과 실용화 지원, 전문 인력 양성 등에 사용된다. 인천대학교 내 반도체 공정 및 설계를 아우르는 센터다. 인천대학교는 시립화 시절 이전부터 반도체 관련 핵심시설인 팹센터를 구축하기 위해 여러 번의 시도가 있었으나 여러 문제로 설치가 무산됐다. 하지만 이를 해결하고자 인천대 내 구성원의 노력과 관심을 통해 청정실시설 공사 및 장비 설치를 2018년 12월 미추홀에 구축하고, 그동안 안전규정 및 입소교육 기반 환경 구축, 운영위원 선정, TFT 표준공정 및 비휘발성메모리 소자 개발, 정부기관 연구 장비 사이트 등록 등의 과정을 거쳐 이날 공식적으로 아이나노팹센터의 문을 열게 됐다.

그동안 인천대학교에서는 장비의 한계성과 공간의 협소성으로 인해 차세대 반도체소자 및 디스플레이 관련된 표준 공정진행을 위해서 다른 지역의 팹센터를 활용 해야하는 환경적인 어려움이 있었다.

이 대학은 아이나노팹 센터의 개소식과 더불어 차세대 트랜지스터/메모리, 에너지 소자/시스템, 바이오 소자/진단칩 개발 등 인천지역의 핵심적인 시설로 나아갈 수 있는 연구 환경의 초석을 확립했다. 뿐만 아니라 팹센터 개소식을 통해 이∙공학 연구 분야에 핵심 연구 장비 활용을 제공함으로써, 인천대 이외에서 진행을 하였던 공정을, 미추홀내 확보된 I-NanoFab센터의 연구/개발 인프라를 활용해서 경인지역 내 국내/국제 연구의 역량 강화 및 다양한 반도체 관련 교육을 할수 있는 실질적인 연구센터로 발돋움을 할 것으로 기대된다.

I-NanoFab센터는 지역적 특수성과 인천 1호선, 테크노파크역3번 출구와 팹센터의 입구가 엘리베이트로 바로 연결되는 우수한 입지조건을 갖춰 근접한 연구기관과 연계한 연구 가속성 또한 기대할 수 있을 것으로 보인다. 또한 학생들에게 여러 장비 실습 및 반도체 소자 제작 교육을 통해 양질의 교육을 제공할 수 있어 취업과 연관한 우수한 교육시설로의 활용이 기대된다.

개소식에서는 I-NanoFab센터의 연혁 소개 및 성과소개, 양운근 총장직무대리 내빈축사, 이종호 서울대 반도체공동연구소 연구소장 등 외빈축사가 이어졌다. 또 현판식과 더불어 오프닝 커팅식도 진행이 됐다.

이와함께 반도체 설계 및 공정관련 소재/부품/장비 회사인 Intel Korea, KH 케미컬, NNSV 베큠등 다양한 업체에서도 참석해 아이나노팹의 개소식에 큰 관심을 표명했다.

인천대 진성훈 센터장은 “I-NanoFab의 개소와 함께 경인지역의 부족했던 반도체 관련 연구인프라에 물꼬를 터졌다”며 “각 분야의 공동/융합연구의 첫걸음이 되면서 학내의 start-up 업체의 제품개발을 위한 좋은 환경을 제공할 수 있도록 노력할 것”이라고 밝혔다.

인천=정창교 기자 jcgyo@kmib.co.kr
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